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回收蓝宝石单晶炉+西湖涡轮分子泵回收物流/提货派送

发布:2024/4/26 18:16:59 来源:shxj365
蓝宝石单晶炉西湖涡轮分子泵物流/提货派送插入式结构,省略了固定式所必须的隔离器,到一机二用,提高了使用的经济性,同时给操作与维护带来了很大的方便,增加了安全性、可靠性。特别是抽屉座的主回路触座,可与NT型熔断路器触座通用。电源负载能力差是一个常见的故障,一般都是出现在老式或工作时间长的电源中,主要原因是各元器件老化,关管的工作不稳定,没有及时进行散热等。应检查稳压二极管是否发热漏电,整流二极管损坏,高压滤波电容损坏等。

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通气管19从排气口 13排出。本实施例的气流导向装置20可有效减小炉内空间(尤其是坩埚支持器 14下方的空间),便于排气,且利于减少热能和氩气的消耗量,另外,由于 该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通,整个炉内的 一氧化硅与氩气的混合气体(包括坩埚支持器14下方的混合气体)能通畅 地排出炉外,整个炉内不存在排气死角。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,因此系统结构简单,具有用电省, 发热小的特点。系统可靠性很高,不会死机。同时触摸屏和PLC间工作,连接仅仅使用1根通讯线即可。(2) 控制软件,系统能按照工艺员写入的工艺文件,进行半自动拉晶,可以在显示器上修改,立即生效,作方便。自动工艺可以单步执行也可以连续自动流程。在温度闭环上增加率限制,信号故障判断诊断能,可以排除观察孔污染,信号扰,加热电源故障,加热器短路,加热器电阻突变。工业彩色触摸屏电气特点(1)本系统采用PLC人工输入失误等错误。(3) 工作站系统。

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